Pengawal ketebalan membran- Pembekal Global

Tingkat 4, Bangunan 5, Jingchang Street, Daerah Teknologi Tinggi Tinggi Tinggi Tinggi Tinggi Tinggi Tinggi Tinggi Tinggi Tinggi Tinggi Tinggi Tinggi Tinggi Tinggi Tinggi Tinggi Tinggi Tinggi Tinggi Tinggi Tinggi Tinggi Tinggi

Maklumat lanjut:

Pengawal ketebalan membran

Ciri-ciri teknikal:

1. Operasi skrin sentuh penuh, mudah digunakan;

2.32Sistem membran, setiap sistem membran50/100lapisan salutan automatik;

3. 12Input isyarat laluan/12output jumlah suis jalan;

4. Menyediakan mod kawalan penuh automatik, separuh automatik dan manual;

5.Boleh dikawal2satu sumber, satu set kerja satu set pralarut;

Parameter teknikal

	Pengawal CY-FDC-S
frekuensi kristal	6MHz (pilihan 2.5M 3M 5M 9M kristal)
Kaedah Paparan	5 "skrin sentuh warna + kadar paparan tiub digital dan tebal sebenar
Kaedah operasi	Skrin sentuh
ketebalan akhir	00μ0000Å-99μ9999Å
Resolusi paparan ketebalan	1Å/s
Resolusi Paparan Kadar	0.1Å/s
Bilangan lapisan salutan	32 sistem membran, setiap sistem membran 50/100 lapisan;
Bilangan probe	A B
Faktor Alat	0.01-99.99
Paparan Masa	00:00:00-23:59:59 H:M:S
Paparan kuasa	0～99.9%
Kuasa pra-lebur	0～99%
Kuasa Preplating	0～99.9%
Masa pra-lebur / masa pra-lapisan	0～99:99 m:s
Masa penebat pra-lebur / Masa penebat pra-lapisan	0～99:99 m:s
Kelajuan salutan (tetapkan kelajuan)	0～999.9Å/s
penyimpanan bahan	257 + 10 jenis tersuai
Komunikasi	RS232/RS485
Sumber penguapan yang kawalan	2, boleh satu set kerja satu set pra-larut
Kawalan output	±10V/5V/2.5V
I / Antara muka	12 input isyarat / 12 output suis
Bilangan crucible kawalan	1-16 orang
Paparan salutan	Lengkuk/nilai kadar
Bilangan lawatan salutan	50/100 lapisan automatik setiap sistem membran
Saiz kotak	480 × 280 × 89mm (2U 19 "kes)

Ciri Khas:

1Manual, separuh automatik, automatik3pelbagai mod salutan, memenuhi pelbagai konfigurasi mesin salutan;

2Penghentian salutan buatan: Penghentian salutan buatan semasa proses salutan;

3Kawalan manual: menentukan keperluan proses salutan awal;

4Sistem filem gangguan: masalah atau kegagalan ditemui dalam salutan automatik dan separuh automatik, boleh menghentikan salutan dan secara automatik dapat menyimpan keadaan semasa, selepas kegagalan **, salutan boleh terus dari sistem filem gangguan;

5Apabila salutan automatik atau separuh automatik, seperti kegagalan getaran kristal, anda boleh memilih untuk menekan salutan berakhir, salutan mengikut masa kuasa semasa, menukar cip untuk meneruskan (probe pelbagai cip);

6Dua sumber lebur secara serentak: dalam proses permulaan lapisan semasa, anda boleh memilih untuk2Lapisan dilaksanakan pra-lebur untuk memenuhi masa yang ketat;

7Perlindungan kata laluan: sistem membran dan fungsi perlindungan kata laluan parameter lapisan membran, melindungi parameter proses daripada diubah suai oleh pekerja bukan proses;

8Rekod data salutan: apabila salutan automatik atau separuh automatik, sistem boleh merekodkan masa pembentukan filem setiap lapisan, * parameter kadar ketebalan akhir.