Dalam banyak aplikasi gas ultra tulen, seperti dalam industri semikonduktor, kelembapan baki dalam gas adalah penting untuk operasi proses yang betul. Pengukuran kelembapan yang berterusan telah menjadi sukar dan memerlukan penganalisis kelembapan yang kompleks atau teknik analisis yang mahal. Walau bagaimanapun, pada masa ini, alat-alat MISSIL telah melancarkan pilihan yang mudah, ekonomi dan agak berkesan ke pasaran untuk mengukur titik embun dalam talian dengan had bawah yang sangat rendah hingga -120 ° C (setara dengan kurang daripada 1 ppb).dalam). Pura Transmitter adalah penghantar harga rendah pertama yang disediakan untuk industri pembuatan semikonduktor dan aplikasi gas ultra tulen, berdasarkan pengalaman profesional bertahun-tahun dalam pengeluaran dan pengesahan sensor titik embun impedan, menggabungkan bahan dan proses pembuatan perindustrian standard. Sorotan Mengukur had bawah -120 ° C titik embun (1 ppb)dalam) Pengukuran stabil, pengulangan yang baik Peranti sampel yang sangat bersepadu Output analog dan digital Mudah dipasang Antara muka proses VCR Reka bentuk kompak Unit paparan/penggera pilihan
Penunjuk Teknikal
Sensor Jenis sensor Sensor kelembapan seramik Ukuran -120 ~ -40 ° C titik embun (disemak untuk -100 ~ -40 ° C) Ketepatan ± 1 ° C -40 ~ -60 ° C; ± 2 ° C -61 ~ -100 ° C; ±4 ° C -101 ~ -120 ° C (anggaran) Resolusi 0.1 ° C -40 ~ -79.9 ° C; 1 ° C -80 ~ -100 ° C; 1 ~ 3 ° C -100 ~ -120 ° C Tekanan Minimum 10-9 torr; Maksimum 24 MPa Aliran gas 1 ~ 5 Nl / min elektrik bekalan kuasa Biasanya 24 V DC, minimum 10 V ~ maksimum 28 V, semasa maksimum 25 mA output 4-20 mA output, julat sepadan boleh disesuaikan dengan perisian khusus, julat penyesuaian dari 1 ~ 80 ° C (disediakan sebagai standard) Beban maksimum = 100 Ω + 50 Ω x (Kuasa V -8) Status ralat output Maklumat ralat output standard seperti berikut: 23 mA = kegagalan sensor; 20 mA = Had Atas; 4 mA = Had yang lebih rendah Sifat mekanikal Seluar sensor Keluli tahan karat, 0.1-0.2 Ra µm plating dalam penggilap Port sambungan laluan udara Jenis Premium atau OEM: Antara muka VCR ¼' m Jenis Sensor Pura: Antara muka VCR ½' m Konfigurasi pemasangan Premium atau OEM jenis: 120.00mm panjang, meterai hujung pelabuhan laluan udara. Tidak perlu menyimpan kekosongan paip 2 lubang pemasangan M4 x 0.7, 7mm dalam pada dasar dengan jarak 20 x 20mm Jenis Sensor Pura: Untuk digunakan dalam port VCR ½' yang disediakan oleh pengguna Saiz Jenis Premium atau OEM: 120 x 35 x 150mm Sensor Pura 型: Kemudahan: 132 x 35mm berat badan Jenis Premium atau OEM: 450g Sensor Pura 型: 30g Pembungkusan Pura: pembungkusan dua lapisan, meterai pengisian gas inert Pura OEM atau Pura Sensor Jenis: Pembungkusan satu lapisan Semua aksesori pilihan: Penghantaran pembungkusan bebas Jenis sensor dilengkapi dengan kasus perlindungan pada ujung cip sensor untuk pengangkutan dan operasi