OTL-PECVD-1200-1400-1200 sistem PECVD tiga zon suhu, terdiri daripada tiga tungku paip vakum, bilik vakum quartz, bekalan kuasa frekuensi radio, sistem bekalan gas GX, sistem pam gas, sistem pengukuran vakum, mekanisme seret elektrik.

Ciri-ciri utama:

1, mengubah gas dalam bilik vakum kuarsa menjadi keadaan ion melalui bekalan kuasa frekuensi radio.

Suhu yang diperlukan untuk PECVD lebih rendah daripada CVD biasa untuk penyusunan gas kimia

3, boleh mengawal saiz tekanan filem yang disimpan melalui frekuensi bekalan kuasa RF

PECVD mempunyai kadar pelepasan gas kimia yang tinggi, seragam yang baik, konsistensi dan kestabilan yang tinggi daripada CVD biasa.

5, digunakan secara meluas dalam: pertumbuhan pelbagai filem nipis, seperti: SiOx, SiNx, SiOxNy dan silikon amortip (a-Si: H) dan lain-lain.

Sistem PECVD zon suhu tiga ini adalah sistem PECVD yang mampu memanaskan dan menyejukkan dengan cepat, dipasang sepasang rel geser elektrik dalam tiga tungku paip, dan sistem geser elektrik boleh digunakan. Kadar pemanasan dan penyejukan sehingga 100 ° C / min. Untuk mendapatkan pemanasan yang paling cepat, dapur boleh dipanaskan terlebih dahulu kepada suhu yang ditetapkan dan kemudian memindahkan dapur ke tempat sampelLetakkan. Untuk penyejukan yang paling cepat, anda boleh memindahkan dapur ke hujung lain selepas sampel dipanaskan. Kadar pemanasan dan penyejukan boleh dicapai dalam vakum atau persekitaran gas inert10 ° C / s, adalah sistem PECVD zon suhu ganda pemanasan dan penyejukan cepat kos rendah.

Sistem PECVD tiga zon suhu ini menggunakan wayar rintangan Kanthal Sweden dan bar karbon silikon sebagai elemen pemanasan, menggunakan struktur kerangka dua lapisan dan alat kawalan suhu 30 program, pemicu fasa beralih, kawalan silikon yang kawalan, perapian menggunakan bahan serat polikristal aluminium oksida import Jepun, kedua-dua hujung paip perapian menggunakan meterai flange keluli tahan karat, flange keluli tahan karat dipasang dengan mulut udara, injapDan pengukur tekanan, vakum boleh mencapai 10-3 Pa apabila memompa vakum, dibahagikan kepada dua zon suhu, dua zon suhu boleh kawalan secara bebas, menetapkan suhu yang berbeza, mudah digunakan, operasi yang mudah, kompor ini mempunyai keseimbangan medan suhu, suhu permukaan yang rendah, kadar suhu penyejukan yang cepat, penjimatan tenaga dan lain-lain kelebihan, adalah universiti, institut penyelidikan saintifik, syarikat perlombongan industri untuk membakar suasana suhu tinggi Produk yang ideal untuk pengikat, pertumbuhan grafen, pertumbuhan pelbagai filem nipis.

(1), ketebalan hujung panas bar karbon silikon adalah 14mm, pengeluar umum menggunakan 12MM, hujung pemanasan tebal, tidak mudah melengkung, beban permukaan bar rendah, hayat perkhidmatan yang panjang.

（2), m panjang hujung sejuk adalah 210mm, pengeluar umum menggunakan 180mm, suhu atas tungku panjang hujung sejuk rendah.

(3), permukaan silikon karbon bar oksida filem tidak kristal padat, boleh melindungi karbon bar yang lebih baik.

Buka kosong akan terputus secara automatik apabila litar berlebihan atau kebocoran

Tungku paip suasanaBolehDilengkapi dengan antara muka komunikasi dan perisian, ia boleh mengawal pelbagai parameter tungku secara langsung melalui komputer, dan dapat memerhatikan nilai suhu PV dan SV pada tungku dan operasi instrumen dari komputer, komputer lengkung pemanasan sebenar tungku akan digambar dalam masa nyata, dan boleh menyimpan data suhu setiap saat, bila-bila masa boleh dipanggil keluar

(1), kualiti tinggi aluminium oksida polikristal serat pemulihan tungku pembentukan penapisan vakum.
(2) Penggunaan teknologi Jepun.
(3), kapasiti haba bahan tungku yang rendah, pengendalian haba yang rendah, sehingga kurang penyebaran haba, penebat yang baik, refleksi yang tinggi. keseimbangan suhu.
(4), kawat aluminium oksida tungku yang halus dan panjang, tahan suhu yang tinggi, tahan panas dan keupayaan penyejukan yang kuat
(5), permukaan perapian bersih, tidak mudah mengeluarkan serbuk.

(Semua peralatan elektrik import yang disahkan UL)