Pura Plus baru direka khusus untuk perubahan keperluan industri wafer terkini mengenai saiz peralatan dan penunjuk. Pura Plus adalah penghantar variabel kelembapan dalam talian yang dipasang pelbagai kali di kilang semikonduktor yang mengarah ke hujung bekalan gas barisan pengeluaran untuk memantau aplikasi gas inert ultra tulen. Pengedaran sistem gas dalam kilang adalah kompleks dan melibatkan banyak cawangan, nod dan titik penggunaan. Oleh itu, selepas titik pemantauan kelembapan biasa, penyembupan kelembapan disebabkan oleh sedikit kebocoran, reka bentuk sistem yang tidak cekap, kegagalan komponen atau kesilapan proses, dan mempengaruhi penggunaan hilir. Pura Plus yang dipasang dalam sistem pengedaran memberikan arahan tindak balas yang cepat di bawah tahap kelembapan 20 ppb. 1 ppb mempunyai masa tindak balas kurang daripada 1 minit. Sorotan Tindakbalas cepat terhadap perubahan kelembapan tahap ppb Tahap kepekaan lembab rendah (<1 ppb) Konsep baru untuk pemasangan pengukuran berbilang titik Keperluan penyelenggaraan rendah Tunjukan status lampu isyarat Tetapkan titik amaran dan penggera Rangkaian Modbus serasi Perisian pelbagai saluran untuk antara muka kawalan jauh (UHP) Pengesanan paip untuk gas ultra tulen
Penunjuk Teknikal
Kelajuan tindak balas < 1 minit 20 ppb perubahan kelembapan 1 ppb masa tindak balas Pengukuran kelembapan 1 ppb kepada 20,000 ppm Julat tekanan 0 hingga 10 bar Tahap tekanan 300 bar Ujian kebocoran 0-9 mbar l / s Julat aliran kerja 1 ~ 10 l / minit Suhu kerja 5 ~ 40 ° C Suhu penyimpanan 30 ~ 70 ° C bekalan kuasa 20 ~ 28 V DC Penggunaan kuasa 5 W Maksimum Kelas pelindung luaran 500 mA jenis lebur cepat Output data Modbus ASCII Dua Tali RS485 Amaran dan output penggera Jalan 2 Voltan Maksimum 40 V DC Maksimum arus 100 mA Bahan untuk sentuhan gas Bahan kerangka Keluli tahan karat AISI 316L, penggilap elektrik permukaan dalaman <10 Ra Struktur sensor Elektrolit aluminium oksida, Perlindungan lapisan emas atas, Lapisan aluminium bawah Jumlah dalaman 4.4cm³ berat badan 450g Antara muka laluan udara 1 / 4 'm VCR Antara muka elektrik Antara muka 9 - Jarim D - Jenis M Keserasian elektromagnetik EN50081-2 dan EN50082-2